Steigerung der Produktivität in der Halbleiterindustrie

Anwendung

Steigerung der Produktivität in der Halbleiterfertigung durch Schwingungsdämpfung

In der Halbleiterfertigung ist Präzision im Nanometerbereich unerlässlich. Jede Schwingung, egal wie klein, kann die Stabilisierung der Maschinen stören, was zu Produktionsverzögerungen und Produktivitätsverlusten führt.

Einer unserer Kunden, ein führendes Unternehmen in der Halbleiterfertigung, stand bei Hochgeschwindigkeitsvorgängen vor dieser Herausforderung. Um eine optimale Leistung zu gewährleisten, benötigte er eine Lösung, die störende Schwingungen sofort unterdrücken und gleichzeitig die erforderliche Präzision beibehalten konnte.

Bei Micromega Dynamics haben wir ein hochleistungsfähiges Dämpfungssystem entwickelt, das:

Die Ergebnisse

Unsere Lösung sorgte dafür, dass sich die Maschinen fast sofort stabilisierten, was zu Folgendem führte:

Durch die Schwingungsdämpfung hilft Micromega Dynamics Halbleiterherstellern, die Effizienz und Zuverlässigkeit ihrer Produktionsprozesse zu verbessern.

Kontaktieren Sie uns, um herauszufinden, wie wir Ihnen helfen können, Ihre Leistung zu optimieren.

Verwendete Ausrüstung

Wir haben eine Komplettlösung entwickelt, die aus einem Erfassungs-Rack, einem ADD 25N und einem einachsigen Beschleunigungsaufnehmer mit mittlerem Messbereich besteht.

Für diese Anwendung haben wir auch eine spezifische digitale Steuerungssoftware für die aktive Strukturdämpfung entwickelt.