Mems Beschleunigungsmesser

Mems Beschleunigungsmesser

Beschreibung

Beschleunigungssensoren : Vibrationssensoren für raue Umgebungen

Die industriellen Mems-Beschleunigungssensoren von RECOVIB schließen die Lücke zwischen der Leistung von Labor-Beschleunigungssensoren (die oft teuer, zerbrechlich und wenig geschützt sind) und der Robustheit von industriellen Beschleunigungssensoren (die manchmal billiger sind, aber oft verrauscht und ungenau sind).

Unsere Beschleunigungssensoren können in industriellen Umgebungen zur Überwachung von Maschinen oder Strukturen eingesetzt werden.

Die RECOVIB®-Beschleunigungssensoren sind von bewährtem Design und die Mehrzahl der Die meisten der verfügbaren Modelle werden in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, z.B. in Werkzeugmaschinen, in der Präzisionsbearbeitung und in der On- und Offshore-Windenergiebranche zur Überwachung oder aktiven Schwingungskontrolle.

Anwendungsbereich

  • Transport: Eisenbahnen, Schifffahrt, Luftfahrt
  • Rohrleitungen & Pumpen
  • Werkzeugmaschinen
  • Bauwesen
  • Papier-/Druckmaschinen
  • Halbleiter
  • Energie: Windturbinen (auch off-shore), Kraftwerk
  • Astronomie

Interne Signalkonditionierung

Die Signale des Vibrationssensors werden von der Beschleunigungsaufnehmereinheit selbst verstärkt und aufbereitet, bevor sie über ein gestörtes industrielles Medium an das Datenerfassungssystem weitergeleitet werden.

Unsere Beschleunigungsaufnehmer sind entweder mit einem Spannungsausgang oder einem 4-20 mA Stromausgang ausgestattet.

Galvanische Isolierung

Die RECOVIB®-Beschleunigungssensoren bieten eine galvanische Trennung der Signalleiter.
Ein zusätzliches Isolationsmodul ist daher nicht erforderlich.

Mehrere Sensoren können an mehreren Orten verteilt und an dasselbe Erfassungssystem angeschlossen werden, ohne dass es zu einer Signalverschlechterung kommt, selbst in Umgebungen mit hohen Erdpotentialunterschieden aufgrund schwerer elektrischer Lasten, die in unmittelbarer Nähe betrieben werden.

Niveau des Schutzes

  • Die RECOVIB®-Beschleunigungssensoren sind nach Schutzart IP67 abgedichtet.

    Wir sind in der Lage, maßgeschneiderte Geräte mit speziellen Schutzmaterialien zu entwerfen und zu entwickeln (z.B. 316L-Edelstahl für Meeresumgebungen, spezielle Verkabelung für Vakuumanwendungen).

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Zusätzliche Informationen

Typ von MEMS-Beschleunigungssensoren

Kapazitive MEMS-Beschleunigungssensoren:

Diese Beschleunigungssensoren verwenden kapazitive Sensortechniken, um Beschleunigungen zu messen. Die kapazitiven Aufnehmer bestehen typischerweise aus mikrobearbeiteten Siliziumstrukturen mit parallelen Plattenkonfigurationen oder Kammantrieb-Designs.

Piezoresistive MEMS-Beschleunigungssensoren:

Piezoresistive Beschleunigungssensoren beruhen auf Änderungen des Widerstands als Folge der angelegten Spannung während Beschleunigungsvorgängen. Diese Geräte verwenden in der Regel dünne piezoresistive Schichten über flexiblen Auslegern oder anderen Strukturen, um beschleunigungsbedingte Spannungs- oder Dehnungsänderungen zu erkennen.

Typ der Sensoren

  • IAC: für die meisten Anwendungen, allgemeine Verwendung (Rauschen <50µg/√Hz)
  • IAC-MR: : für Anwendungen, die geringes Rauschen erfordern (<25µg/√Hz)
  • IAC-HiRes: für Anwendungen, die ein sehr geringes Rauschen erfordern (<10µg/√Hz)
  • IAC-UHRS: für sehr hohe Auflösung/Seismik (Rauschen <2µg/√Hz)
  • IAC-CM: für die Maschinenüberwachung, höhere Bandbreite (bis zu 24kHz)

Art der Ausgaben

  • 4-20mA Stromschleife für lange Kabel und/oder einfachen Anschluss an industrielle PLC
  • Unipolare Spannung
  • Differenzialspannung für hochauflösende Sensoren

Breiter Frequenzbereich mit flachem Frequenzgang

Die RECOVIB®-Beschleunigungssensoren arbeiten bis hinunter zu Gleichstrom und ermöglichen so die genaue Messung von niederfrequenten Signalen.

Sie eignen sich daher auch für die Überwachung langsamer Prozesse (z.B. die Überwachung der Fundamentbewegungen einer Offshore-Windturbine usw.).

Häufig gestellte Fragen

Was sind MEMS-Beschleunigungsmesser?

MEMS-Beschleunigungssensoren sind Festkörpergeräte, die lineare Bewegungen, einschließlich Beschleunigung, Schwerkraft, Stöße und Vibrationen messen. MEMS steht für Micro Electro Mechanical System. Sie funktionieren, indem sie einen integrierten Schaltkreis zusammen mit mikrobearbeiteten Siliziumstrukturen für die Umwandlung verwenden und sowohl mechanische als auch elektrische Elemente kombinieren.

Warum verwenden wir MEMS-Beschleunigungssensoren?

Micromega Dynamics ist auf Strukturschwingungen spezialisiert, was oft sehr niedrige Frequenzen bedeutet.
Deshalb haben wir uns für unsere Beschleunigungssensoren für die kapazitive MEMS-Technologie entschieden, weil sie ein flaches Rauschspektrum bietet, das für Messungen im Niederfrequenzbereich besser geeignet ist, und auch, um bis nahe an den Gleichstrom messen zu können.
Diese Technologie wird auch in unserer Vib@work-Produktreihe verwendet, mit Ausnahme der Hand-Arm-Modelle, für die wir piezoresistive MEMS-Beschleunigungssensoren ausgewählt haben, die besser für die Messung von Erschütterungen geeignet sind und auch, weil sie keine Gleichstromverschiebung oder einen Blitzeffekt aufweisen.

Was sind die Vorteile von Micromega-Beschleunigungsmessern?

  • Funktioniert am besten bei niedrigen Frequenzen (gemessen vom DC)
  • Sie haben ein flaches Restgeräuschspektrum (daher besser bei niedrigen Frequenzen)
  • Kann ohne genaue Nivellierung installiert werden
  • Bieten Sie niedrigere Preise für Standardsensoren an
  • Kann 4-20mA Signale ausgeben
  • Erzeugen Sie Signale mit voller Bandbreite

Wie funktioniert ein MEMS-Beschleunigungsmesser?

Das Grundprinzip von MEMS-Beschleunigungsmessern ist die Verschiebung einer Masse als Reaktion auf eine einwirkende Kraft oder Beschleunigung. Diese Verschiebung verändert die Kapazität zwischen zwei Plattensätzen, die dann gemessen werden kann und Informationen über die Stärke der vorhandenen Beschleunigung liefert.

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